[发明专利]成膜装置、成膜方法及蒸发源单元

权利要求书

1.一种成膜装置，所述成膜装置使蒸镀物质气化而在基板上进行成膜，其特征在于，具备：

容器，所述容器具有内部空间，该内部空间包括收容固体或液体的蒸镀物质的收容空间及供气化的蒸镀物质扩散的扩散空间；及

罩构件，所述罩构件覆盖所述容器的至少一部分，

在所述收容空间之上配置有所述扩散空间，

所述扩散空间的第一方向上的宽度比所述收容空间的所述第一方向上的宽度窄，

所述容器包括：

第一侧壁，所述第一侧壁划定所述收容空间的侧面；

第二侧壁，所述第二侧壁划定所述扩散空间的侧面；及

连接壁，所述连接壁将所述第一侧壁及所述第二侧壁连接，

所述罩构件包括：

第一罩，所述第一罩至少覆盖所述第一侧壁；及

第二罩，所述第二罩转动自如地支承于所述第一罩，至少覆盖所述连接壁。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述成膜装置还具备板状构件，该板状构件在所述容器的内部分隔所述收容空间与所述扩散空间，且形成有供气化的蒸镀物质通过的开口。

3.根据权利要求2所述的成膜装置，其特征在于，

所述成膜装置还具备包围所述开口并从所述板状构件伸出的伸出部。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

所述成膜装置一边使至少包含所述容器而构成的蒸发源相对于基板沿移动方向相对移动，一边进行成膜，

所述第一方向是与所述移动方向交叉的方向。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

所述成膜装置还具备设置在所述容器与所述罩构件之间并对蒸镀物质进行加热的加热器。

6.根据权利要求5所述的成膜装置，其特征在于，

所述加热器的至少一部分安装于所述第二罩。

7.根据权利要求1～3中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

在所述罩构件的内部设置有对所述罩构件进行冷却用的冷却用配管。

8.根据权利要求1～3中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

所述成膜装置还具备将所述收容空间分隔成分别收容蒸镀物质的多个收容部的分隔构件。

9.根据权利要求1～3中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

在所述容器设置有沿所述第一方向排列并将在所述扩散空间扩散的蒸镀物质放出的多个喷嘴。

10.根据权利要求2或3所述的成膜装置，其特征在于，

所述收容空间与所述扩散空间经由所述板状构件相接。

11.一种成膜方法，其特征在于，

包括使用权利要求1～9中任一项所述的成膜装置在基板上进行成膜的成膜工序。

12.一种蒸发源单元，用于使蒸镀物质气化而在基板上进行成膜，其特征在于，具备：

容器，所述容器形成内部空间，该内部空间包括收容蒸镀物质的收容空间及供气化的蒸镀物质扩散的扩散空间；及

罩构件，所述罩构件覆盖所述容器的至少一部分，

所述容器以在所述收容空间的上表面设置第一方向上的宽度比所述收容空间窄的所述扩散空间的方式形成所述内部空间，

所述罩构件包括：

第一罩，所述第一罩在所述容器中至少覆盖划定所述收容空间的侧面的第一侧壁；及

第二罩，所述第二罩转动自如地支承于所述第一罩，在所述容器中至少覆盖连接壁，该连接壁将所述第一侧壁及划定所述扩散空间的侧面的第二侧壁连接。