[发明专利]一种外延反应加热控制方法、系统、电子设备及存储介质有效
| 申请号： | 202210794117.6 | 申请日： | 2022-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN114990691B | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 谢利华;毛朝斌;王慧勇 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | C30B25/16 | 分类号： | C30B25/16;C30B25/10;C30B25/08;C30B29/36;C23C16/52;C23C16/44 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈志超 |
| 地址： | 528200 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种外延反应加热控制方法、系统、电子设备及存储介质，外延反应加热控制方法用于外延反应设备，包括以下步骤：输出最大加热功率信息以使外延反应设备的外延腔迅速升温至预设的第一温度信息；根据第一温度信息、预设的第二温度信息以及第二温度信息对应的起始加热功率信息生成加热功率曲线；根据加热功率曲线调节并输出加热功率信息以使外延腔逐渐升温，直至加热功率信息下降至起始加热功率信息；对外延腔进行PID控制加热使外延腔升温至预设的外延反应温度信息所对应的温度，本申请通过上述方法使外延腔在加热过程中不会因为加热功率突变而导致温度产生波动，从而提高加热效率及加热稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 反应 加热 控制 方法 系统 电子设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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