[发明专利]一种外延反应加热控制方法、系统、电子设备及存储介质

权利要求书

1.一种外延反应加热控制方法，应用于外延反应设备，其特征在于：所述外延反应加热控制方法包括以下步骤：

输出最大加热功率信息以使所述外延反应设备的外延腔（1）迅速升温至预设的第一温度信息，所述第一温度信息为所述外延腔（1）利用最大加热功率信息加热的防止温度过冲的上限温度信息；

根据所述第一温度信息、预设的第二温度信息以及所述第二温度信息对应的起始加热功率信息生成加热功率曲线，所述第二温度信息为所述外延腔（1）开始进行PID控制加热时的温度信息，所述起始加热功率信息为所述外延腔（1）进行所述PID控制加热时预设的PID启动功率信息；

根据所述加热功率曲线调节并输出加热功率信息以使所述外延腔（1）逐渐升温，直至加热功率信息下降至所述起始加热功率信息；

对所述外延腔（1）进行所述PID控制加热使所述外延腔（1）升温至预设的外延反应温度信息所对应的温度。

2.根据权利要求1所述的外延反应加热控制方法，其特征在于，所述第一温度信息为所述预设的外延反应温度信息的45%-60%。

3.根据权利要求1所述的外延反应加热控制方法，其特征在于，所述第二温度信息为所述预设的外延反应温度信息的85%-90%。

4.根据权利要求1所述的外延反应加热控制方法，其特征在于，所述PID控制加热过程中，PID加热功率信息为额定功率信息的0-50%。

5.根据权利要求1所述的外延反应加热控制方法，其特征在于，所述根据所述第一温度信息、预设的第二温度信息以及所述第二温度信息对应的起始加热功率信息生成加热功率曲线的步骤包括：

根据预设的曲线类型生成由所述最大加热功率信息变化至所述起始加热功率信息的起始曲线；

根据所述第一温度信息和所述第二温度信息设定所述起始曲线的时间坐标轴以生成所述加热功率曲线。

6.根据权利要求1所述的外延反应加热控制方法，其特征在于，所述对所述外延腔（1）进行所述PID控制加热使所述外延腔（1）升温至预设的外延反应温度信息所对应的温度的步骤包括：

在所述外延腔（1）内的温度信息小于预设的外延反应温度信息时，提高加热功率使所述外延腔（1）内的所述温度信息调节至与所述预设的外延反应温度信息相等；

在所述外延腔（1）内的所述温度信息大于所述预设的外延反应温度信息时，降低所述加热功率使所述外延腔（1）内的所述温度信息调节至与所述预设的外延反应温度信息相等。

7.一种外延反应加热控制系统，用于对外延腔（1）进行加热升温，所述外延反应加热控制系统包括：

冷却装置（100），用于对所述外延腔（1）进行降温冷却；

加热装置（200），用于加热所述外延腔（1）；

其特征在于，所述外延反应加热控制系统还包括：

控制器（300），所述控制器（300）用于输出最大加热功率信息以使外延反应设备的外延腔（1）迅速升温至预设的第一温度信息，所述第一温度信息为所述外延腔（1）利用最大加热功率信息加热的防止温度过冲的上限温度信息；

所述控制器（300）还用于根据所述第一温度信息、预设的第二温度信息以及所述第二温度信息对应的起始加热功率信息生成加热功率曲线，所述起始加热功率信息为所述外延腔（1）进行PID控制加热时预设的PID启动功率信息；

所述控制器（300）还用于根据所述加热功率曲线调节并输出加热功率信息以使所述外延腔（1）逐渐升温，直至所述加热功率信息下降至所述起始加热功率信息；

所述控制器（300）还用于对所述外延腔（1）进行所述PID控制加热使所述外延腔（1）升温至预设的外延反应温度信息所对应的温度。

8.根据权利要求7所述的外延反应加热控制系统，其特征在于，所述加热装置（200）为缠绕在所述外延腔（1）外的感应线圈，所述感应线圈为空心结构，用于通入冷却水。