[发明专利]一种IGZO溅射靶材制备方法

摘要

本发明公开了一种IGZO溅射靶材制备方法，涉及靶材制备技术领域，其中将In2O3、Ga2O3和ZnO粉末放入球磨罐混合，并加入纯水、有机分散剂，球磨罐时间不低于36h；将混合后的IGZO浆料通过蠕动泵的蠕动使浆料注入雾化造粒机中，并通过雾化造粒机，得到了干燥的IGZO造粒粉；对IGZO造粒粉依次进过模压和等静压，成型得到靶材坯体；对靶材坯体进行烧结及脱脂，得到致密化的靶材成品。本发明所述的一种IGZO溅射靶材制备方法，由于采用了超过36h的球磨时间，所以，有效解决了IGZO混合粉体颗粒内部物质分布不均的技术问题，进而实现了IGZO混合粉体颗粒进一步细化，颗粒间的粒径差明显减小，且IGZO混合粉体的均匀性、粒径分布和比表面积均有较大改善。