[发明专利]一种提高大粒径碳化硅粉料占比的固相合成方法在审
| 申请号： | 202210792210.3 | 申请日： | 2022-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN115124040A | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 涂小牛;贺贤汉;李有群;吴寒 | 申请（专利权）人： | 安徽微芯长江半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/956 | 分类号： | C01B32/956;C01B32/984 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 244000 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高大粒径碳化硅粉料占比的固相合成方法，本方法基于传统的固相合成方法，通过在原料混合时添加一定比例的小粒径高纯碳化硅粉体作为成核点，诱导碳化硅晶粒长大，实现大幅提高合成碳化硅粉料中大粒径粉料的比例。与现有的高纯碳化硅原料合成方法相比，本方法合成的碳化硅原料中大粒径原料占比大幅提升，为生长碳化硅单晶所需的高纯度、大颗粒碳化硅原料合成提供了一种高效、简便的低成本新方案，具有纯度高、粒径大、操作简单、成本低等优点，能大批量制备满足碳化硅单晶生长用大粒径高纯碳化硅粉料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 粒径 碳化硅 粉料占 相合 成方 | ||
【主权项】：
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