[发明专利]一种提高大粒径碳化硅粉料占比的固相合成方法在审
| 申请号： | 202210792210.3 | 申请日： | 2022-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN115124040A | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 涂小牛;贺贤汉;李有群;吴寒 | 申请（专利权）人： | 安徽微芯长江半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/956 | 分类号： | C01B32/956;C01B32/984 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 244000 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 提高 粒径 碳化硅 粉料占 相合 成方 | ||
1.一种提高大粒径碳化硅粉料占比的固相合成方法，其特征在于，包括以下步骤：
（1）选用纯度不低于99.99%的硅粉和碳粉按照摩尔比1-1.04:1进行配料；
（2）在（1）所述的混合物中，添加重量比例为10%-30%的碳化硅细粉，然后进行充分混合；
（3）将（2）所述的混合物装入固相合成炉的石墨坩埚中，并开始抽真空，使炉腔体真空度优于10-4 Pa；
（4）开始升温至1400℃-1500℃，恒温10小时-20小时；
（5）继续升温至2100℃-2200℃，通入保护气体，使炉腔体压力达到40 Torr-100 Torr，恒温10小时-30小时；
（6）通入（5）所述的保护气体，使炉腔体压力达到700 Torr-750 Torr，待炉温降至室温。
2.根据权利要求1所述的一种提高大粒径碳化硅粉料占比的固相合成方法，其特征在于，步骤（2）中，所述的碳化硅细粉，其粒径为0-1 mm。
3.根据权利要求1所述的一种提高大粒径碳化硅粉料占比的固相合成方法，其特征在于，步骤（2）中，所述的碳化硅细粉，其纯度不低于99.99%。
4.根据权利要求1所述的一种提高大粒径碳化硅粉料占比的固相合成方法，其特征在于，步骤（1）中，所述的硅粉为多晶硅粉，粒径为1 μm-1000 μm。
5.根据权利要求1所述的一种提高大粒径碳化硅粉料占比的固相合成方法，其特征在于，步骤（1）中，所述的碳粉为石墨粉，粒径为1 μm-80 μm。
6.根据权利要求1所述的一种颗粒均匀的碳化硅粉料制备装置与方法，其特征在于，步骤（3）中，所述的石墨坩埚采用纯度不低于99.99%的石墨制成。
7.根据权利要求1所述的一种提高大粒径碳化硅粉料占比的固相合成方法，其特征在于，步骤（5）中，所述的保护气体为惰性气体，如氦气、氩气，或者是掺有1-2 vol%氢气的氦气或氩气的混合气体。
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