[发明专利]一种碳化硅生产时保护气体流量控制设备有效
| 申请号： | 202210790463.7 | 申请日： | 2022-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN115237170B | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 刘海;王人松;刘建永 | 申请（专利权）人： | 连城凯克斯科技有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 无锡亿联盛知识产权代理有限公司 32625 | 代理人： | 李晶晶 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于控制设备技术领域，具体的说是一种碳化硅生产时保护气体流量控制设备，包括壳体；所述壳体侧壁上设置有连接套，所述连接套的内部设有封堵板，所述封堵板的内部设有转柱，所述连接套端部安装有电机，所述电机的输出端通过转轴与转柱端部相连，所述转柱的侧壁上开设有若干组导气槽；本发明能够通过控制转柱顺时针转动，控制其侧壁的导气槽与进气管的连通面积，从而能够根据现场的充注需求，合理的控制气体的流量，同时通过设置设备的安装位置，实现快速与精准“断气”的效果，且残留在进气管中的气体也不会外流至壳体中，使得壳体中的保护气在充注时更准确，提高了后续炉体对碳化硅的加工质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 生产 保护 气体 流量 控制 设备 | ||
【主权项】：
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