[发明专利]一种碳化硅生产时保护气体流量控制设备

权利要求书

1.一种碳化硅生产时保护气体流量控制设备，包括壳体(1)；其特征在于：所述壳体(1)侧壁上设置有弧形的连接套(2)，位于壳体(1)内部的连接套(2)侧壁上开设有出气口(3)，且位于壳体(1)外端的连接套(2)的侧壁上连接有进气管(4)，所述连接套(2)的内部设有弧形的封堵板(5)，所述封堵板(5)的内部设有圆柱状的转柱(6)，所述转柱(6)的两端分别与连接套(2)端部转动相连，所述转柱(6)的侧壁与封堵板(5)的内壁相贴合，所述连接套(2)端部安装有电机，所述电机的输出端通过转轴(7)与转柱(6)端部相连，所述转柱(6)的侧壁上沿其径向开设有若干组导气槽(8)；

所述封堵板(5)与连接套(2)转动相连，所述封堵板(5)的外壁与连接套(2)的内壁相贴合，所述转柱(6)侧壁上开设有滑槽，所述滑槽内部滑动连接有压块(9)，所述压块(9)与滑槽内端之间连接有弹簧，所述连接套(2)的外壁上安装有能够对压块(9)进行吸引的电磁铁(10)；

所述封堵板(5)的内壁上开设有一组弧形均布的卡槽(11)，所述卡槽(11)的宽度由内向外逐渐增大，所述压块(9)的形状与卡槽(11)相匹配；

所述连接套(2)与电磁铁(10)相对应的内壁处开设有滑腔(12)，所述滑腔(12)内部滑动连接有摩擦板(13)，所述摩擦板(13)靠近封堵板(5)的一面设置成粗糙面，所述摩擦板(13)与滑腔(12)内端之间连接有弹性件(14)，所述电磁铁(10)工作时能够对摩擦板(13)进行吸引；

通过设置封堵板(5)的连接方式，并使得封堵板(5)与连接套(2)之间的摩擦阻力，大于转柱(6)与连接套(2)的摩擦阻力，从而使得气体的流量在调节时，能够通过电机的转动，带动转柱(6)率先在封堵板(5)中转动调节，当转柱(6)调节完毕后，此时电磁铁(10)工作并能对压块(9)进行吸引，使得压块(9)能够与封堵板(5)挤压，从而增大了转柱(6)与封堵板(5)之间的摩擦作用力，此时电机继续工作，并带动转轴(7)往复转动，从而能够通过转柱(6)与压块(9)带动封堵板(5)同步转动，使得转柱(6)上导气槽(8)的喷气方向能够上下摆动，从而能够调节气体的喷射方向，使得气体能够更快速均匀的充满壳体(1)内部；

当对转柱(6)的出气量进行调节时，此时摩擦板(13)的粗糙面在弹性件(14)的压力下紧贴封堵板(5)侧壁，从而能够对封堵板(5)起到夹持固定的效果，当对导气槽(8)的喷气方向进行调节时，此时电磁铁(10)工作，并能对摩擦板(13)进行吸引，使得摩擦板(13)向远离封堵板(5)的一侧运动，从而不再对封堵板(5)夹持固定，使得电机能够通过转柱(6)带动封堵板(5)更轻松稳定的运动。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产时保护气体流量控制设备，其特征在于：所述摩擦板(13)靠近封堵板(5)的一面连接有若干个吸盘(15)，所述弹性件(14)设置成弹性伸缩套的形式，所述吸盘(15)内端与弹性件(14)之间通过软管(16)相连通。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产时保护气体流量控制设备，其特征在于：所述连接套(2)的出气口(3)顶端转动连接有挡片(17)。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅生产时保护气体流量控制设备，其特征在于：所述电磁铁(10)设置在连接套(2)的侧壁顶端，所述挡片(17)的自由端连接有吸附片(18)，所述电磁铁(10)工作时能够对吸附片(18)进行吸引。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产时保护气体流量控制设备，其特征在于：所述卡槽(11)内部分别连接有弹性的鼓囊(19)，所述鼓囊(19)的侧壁与转柱(6)的侧壁过盈贴合。

6.根据权利要求5所述的一种碳化硅生产时保护气体流量控制设备，其特征在于：所述鼓囊(19)靠近转柱(6)的侧壁处设有金属片(20)。

7.根据权利要求6所述的一种碳化硅生产时保护气体流量控制设备，其特征在于：相邻两鼓囊(19)之间通过导管(21)相连通。