[发明专利]一种碳化硅生产时保护气体流量控制设备

说明书

本发明属于控制设备技术领域，具体的说是一种碳化硅生产时保护气体流量控制设备，包括壳体；所述壳体侧壁上设置有连接套，所述连接套的内部设有封堵板，所述封堵板的内部设有转柱，所述连接套端部安装有电机，所述电机的输出端通过转轴与转柱端部相连，所述转柱的侧壁上开设有若干组导气槽；本发明能够通过控制转柱顺时针转动，控制其侧壁的导气槽与进气管的连通面积，从而能够根据现场的充注需求，合理的控制气体的流量，同时通过设置设备的安装位置，实现快速与精准“断气”的效果，且残留在进气管中的气体也不会外流至壳体中，使得壳体中的保护气在充注时更准确，提高了后续炉体对碳化硅的加工质量。

技术领域

本发明属于控制设备技术领域，具体的说是一种碳化硅生产时保护气体流量控制设备。

背景技术

碳化硅立式感应合成炉主要是应用中频感应加热方式以摩尔比配比的高纯碳粉和高纯硅粉、以及一定量的高纯添加剂均匀混合, 装在高纯石墨坩埚内, 并在洁净环境中,充入高纯氩气、氮气、氢气和其他气体,以设定的步骤,逐步完成升温、保温、置换氩气、氮气、氢气或其他气氛气体，降温等过程,使碳粉和硅粉合成为高纯碳化硅原料的设备。

现有技术中碳化硅在生产时，需要向生长炉中充入保护气体，为了控制保护气的充注流量，通常需要在气管上设置流量控制装置，但针对不同的碳化硅生产时，由于充入的气量存在差异，只通过控制气管的开闭难以做到对气量精准的控制，且即使当气管关闭后，残留在气管中的一部分气体也会流入炉体内部，导致气量在充入时存在不稳定的情况，影响碳化硅的生产质量。

因此，本发明提供一种碳化硅生产时保护气体流量控制设备。

发明内容

为了弥补现有技术的不足，解决背景技术中所提出的至少一个技术问题。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明所述的一种碳化硅生产时保护气体流量控制设备，包括壳体；所述壳体侧壁上设置有弧形的连接套，位于壳体内部的连接套侧壁上开设有出气口，且位于壳体外端的连接套的侧壁上连接有进气管，所述连接套的内部设有弧形的封堵板，所述封堵板的内部设有圆柱状的转柱，所述转柱的两端分别与连接套端部转动相连，所述转柱的侧壁与封堵板的内壁相贴合，所述连接套端部安装有电机，所述电机的输出端通过转轴与转柱端部相连，所述转柱的侧壁上沿其径向开设有若干组导气槽；现有技术中碳化硅在生产时，需要向生长炉中充入保护气体，为了控制保护气的充注流量，通常需要在气管上设置流量控制装置，但针对不同的碳化硅生产时，由于充入的气量存在差异，只通过控制气管的开闭难以做到对气量精准的控制，且即使当气管关闭后，残留在气管中的一部分气体也会流入炉体内部，导致气量在充入时存在不稳定的情况，影响碳化硅的生产质量；本发明中的气体流量控制设备在工作时，电机能够通过控制转轴的转动角度，控制转柱顺时针转动，从而能够控制其侧壁的导气槽与进气管的连通面积，从而能够根据现场的充注需求，合理的控制气体的流量，同时通过设置设备的安装位置，使得壳体中的保护气达到充注要求时，通过电机带动转柱进行逆时针转动，直至转柱上的导气槽进气端与封堵板相贴合，并被其所封堵，从能实现快速与精准“断气”的效果，且残留在进气管中的气体也不会外流至壳体中，使得壳体中的保护气在充注时更准确，提高了后续炉体对碳化硅的加工质量。