[发明专利]提升触摸屏高膜厚二氧化硅镀膜效率的工艺在审
| 申请号： | 202210768113.0 | 申请日： | 2022-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN115074682A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 张杨;陈浩浩;郑建军;余志辉;钟素文;余伟平 | 申请（专利权）人： | 芜湖长信科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/10;C23C14/54;C03C17/36 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 朱顺利 |
| 地址： | 241009 安徽省芜湖市中国*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种提升触摸屏高膜厚二氧化硅镀膜效率的工艺，通过在真空镀膜设备的第一镀膜室、第二镀膜室和第三镀膜室中分别设置第一对SI靶、第二对SI靶和第三对SI靶，将第一镀膜室和第二镀膜室中通入的氧气的流量设置为恒定值，由成膜机程序控制进入；第三镀膜室由气体反应控制器控制进入第三镀膜室中的氧气的流量，将气体反应控制器的取值电压设置为恒定值。本发明的提升触摸屏高膜厚二氧化硅镀膜效率的工艺，可以提高生产效率，使制损率降低，同时电压、膜层品质稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 提升 触摸屏 高膜厚 二氧化硅 镀膜 效率 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于芜湖长信科技股份有限公司，未经芜湖长信科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210768113.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
