[发明专利]扫描电镜二次电子探测器在审
| 申请号： | 202210746212.9 | 申请日： | 2022-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN114899071A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 潘结春;陈禹涛;吴天成;张俊 | 申请（专利权）人： | 国仪量子（合肥）技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/16;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 赵静 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区创*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描电镜二次电子探测器，所述扫描电镜二次电子探测器包括：筒体组件、栅网组件、导光柱、闪烁体、高压线、馈电组件、KF法兰支架、紧固件、外壳、光电倍增镜和电源。根据本发明的扫描电镜二次电子探测器，通过在馈电组件的馈电端设置馈口，馈口内具有馈电针，馈电针与高压线的另一端通过贯穿孔连接，KF法兰支架设于馈电端和筒体组件之间，实现从馈口到第一容纳空间的密封性，从而保证高压线和馈电针处在密封的空间内，进而保证扫描电镜二次电子探测器工作时，高压线和馈电针位于真空密封的环境内，有效减少高压线对电信号的干扰，使二次电子成像更加清晰。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描电镜 二次电子 探测器 | ||
【主权项】：
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- 本发明公开了一种离子注入机用束流监测及响应系统，其包括：电源使能模块，用来控制电源是否激活使用；电压设定及反馈模块，用来对电源电压设值，接收电源电压的反馈值；电流反馈模块，用来接收电源电流反馈值；电流幅值超限判定模块，用来对比电源电流反馈值和预先设置的电流阈值，根据对比结果发出信号；电流幅值超限时长判定模块，用来对比电流幅值超限时长和预先设置的时长阈值，根据对比结果发出信号；Glitch状态输出模块，用来根据电流幅值超限判定模块和电流幅值超限时长的结果判定束流是否输出Glitch信号。本发明具有结构简单、智能化程度高、判定准确性高等优点。
- 针对射束图像系统的开关矩阵设计-201880060398.4
- 王勇新;董仲华;赖瑞霖 - ASML荷兰有限公司
- 2018-09-14 - 2023-05-02 - H01J37/244
- 公开了用于实施检测器阵列(600)的系统和方法。根据某些实施例，衬底(600)包括多个感测元件(600‑613)，多个感测元件(600‑613)包括第一元件(611)和第二元件(612)。检测器包括开关元件(619)，开关元件(619)被配置为连接第一元件与第二元件。可以基于响应于感测元件接收到具有预定量的能量的电子而生成的信号来控制开关区域。
- 透射带电粒子显微镜中的衍射图案检测-201810934619.8
- B.布依杰斯;M.库吉普尔 - FEI 公司
- 2018-08-16 - 2023-04-18 - H01J37/244
- 一种使用透射带电粒子显微镜的方法，包括：‑在样品支架上提供样品；‑使用带电粒子射束镜筒产生带电粒子射束并利用所述带电粒子射束辐照样品的至少一部分；‑使用成像系统收集在所述辐照期间穿过样品的带电粒子，并将它们引导到检测器上；‑使用所述检测器记录样品的所述被辐照部分的衍射图案，还包括：‑配置所述检测器以按照粒子计数模式进行操作；‑在一系列连续的检测帧中迭代地记录所述衍射图案，并对所述帧求和；‑在每个帧的记录期间，使用扫描组件引起所述衍射图案和所述检测器的相对运动，以便使所述图案中的每个局部强度最大值在所述检测器上描出轨迹。
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