[发明专利]一种具有应变对冲结构的UVB-LED及其制备方法在审
| 申请号： | 202210687856.5 | 申请日： | 2022-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN115084327A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 张毅;张骏;岳金顺 | 申请（专利权）人： | 湖北深紫科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/06 | 分类号： | H01L33/06;H01L33/00;H01L33/12;H01L33/14;H01L33/32 |
| 代理公司： | 武汉智嘉联合知识产权代理事务所(普通合伙) 42231 | 代理人： | 姜婷 |
| 地址： | 436000 湖北省鄂州市梧桐湖新区凤凰*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有应变对冲结构的UVB‑LED及其制备方法，该具有应变对冲结构的UVB‑LED包括依次层叠布置的蓝宝石衬底、AlN本征层、n型AlGaN电子注入层、第一应变对冲层、第二应变对冲层、电流扩展层、调制掺杂有源层、电子阻挡层、p型AlGaN空穴注入层和p型GaN接触层；第一应变对冲层和第二应变对冲层均为Si掺杂的AlGaN膜层，且第一应变对冲层的Al组分百分数大于第二应变对冲层的Al组分百分数。本发明通过在n型AlGaN电子注入层与电流扩展层之间设置两个应变对冲层，缓解来源于AlN层本征层的压应力，改善调制有源层的能带结构，提高UVB‑LED的发光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 应变 对冲 结构 uvb led 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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