[发明专利]自动阻抗匹配方法、装置、系统、电子设备及存储介质在审
| 申请号： | 202210647899.0 | 申请日： | 2022-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN115020180A | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 胡琅;李晓峰;姚龙;吴添洪 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H03H7/38 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 罗尹清 |
| 地址： | 528200 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种自动阻抗匹配方法、装置、系统、电子设备及存储介质，用于匹配反应腔室中的阻抗，所述一种自动阻抗匹配方法包括以下步骤：获取所述等离子体的阻抗信息；获取所述等离子体的阻抗标准表，所述阻抗标准表包括多个根据所述等离子体阻抗变化情况划分的工作状态区间，所述阻抗标准表为根据所述等离子体的在前活化过程生成；根据所述阻抗标准表及所述阻抗信息获取所述等离子体的当前工作状态；根据所述当前工作状态调节阻抗匹配箱的阻抗以进行阻抗匹配，本申请通过先采集后匹配的方法，实现阻抗的自适应快速匹配，同时该自适应匹配方法可适用于多个平台。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 阻抗匹配 方法 装置 系统 电子设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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