[发明专利]MEMS结构雾化芯及其制备方法在审
| 申请号： | 202210619277.7 | 申请日： | 2022-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN114983032A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 刘瑞 | 申请（专利权）人： | 江苏甫瑞微纳传感科技有限公司 |
| 主分类号： | A24F40/46 | 分类号： | A24F40/46;A24F40/485;A24F40/42;A61M11/00;B05B15/00;B05B17/06;F24F6/00 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 赵世发 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市高新区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS结构雾化芯及其制备方法。所述MEMS结构雾化芯包括：支撑结构，所述支撑结构具有背对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面设置有储油槽，所述第二表面设置有与所述储油槽相连通的导油孔，所述第二表面与第一表面背对设置；电阻加热结构，所述电阻加热结构设置在所述支撑结构的第二表面，当所述电阻加热结构接入电源后，自所述导油孔输送的流体介质能够与所述电阻加热结构接触并被加热雾化。本发明不仅使得雾化芯可靠性更高，温度的一致性控制的更好，可以精准控制电阻范围，而且还可以精准控制渗油的速率和数量，结合半导体工艺，可以实现批量化、低成本的制造，避免陶瓷工艺烧结时带来的污染。 | ||
| 搜索关键词： | mems 结构 雾化 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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