[发明专利]半导体器件及制造半导体器件的方法在审
申请号: | 202210610190.3 | 申请日: | 2022-05-31 |
公开(公告)号: | CN115548015A | 公开(公告)日: | 2022-12-30 |
发明(设计)人: | 崔宰铭;李敬雨;金娜延;林圣勋;郑圣烨 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L27/088 | 分类号: | H01L27/088;H01L21/8234 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 李敬文;纪雯 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种半导体器件,包括:下部结构;所述下部结构上的第一层间电介质(ILD);第一图案区,在所述第一ILD内在第一方向上延伸,所述第一图案区在与所述第一方向垂直的第二方向上彼此分隔开,所述第一图案区中的每个第一图案区包括至少一个第一图案,并且所述至少一个第一图案在所述第一方向上的两端是凹陷的;以及第二图案区,在所述第一ILD内在所述第一方向上延伸,所述第二图案区在所述第二方向上彼此分隔开并且在所述第二方向上与所述第一图案区交替,所述第二图案区中的每个第二图案区包括至少一个第二图案。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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