[发明专利]燃气加热沉积炉及系统

摘要

本发明公开了燃气加热沉积炉及系统，包括炉体以及用于给炉体内的待增密物件进行加热的加热装置，所述炉体上部设置有贯穿至炉体内腔的出气口，所述加热装置包括伸入炉体内部用于散热的至少一个辐射管以及通过燃烧出气管中的尾气给所述辐射管加热的燃烧器。将沉积炉的加热方式改为燃气辐射管形式，燃料以沉积炉尾气为主，天燃气为辅，这样既节省了大量电能，又将沉积炉尾气作为热源对沉积炉进行加热，同时燃气辐射管出来的燃烧烟气对碳源气进行预热，真正做到沉积炉系统的节能环保。