[发明专利]燃气加热沉积炉及系统

权利要求书

1.燃气加热沉积炉，包括炉体(1)以及用于给炉体(1)内的待增密物件进行加热的加热装置，其特征在于，所述加热装置包括伸入炉体(1)内部用于散热的至少一个辐射管(25)以及通过燃烧出气管中的尾气给所述辐射管(25)加热的燃烧器。

2.根据权利要求1所述的燃气加热沉积炉，其特征在于，所述辐射管(25)一端为置于炉体(1)内腔的封闭末端，另一端为穿透炉体(1)的开口端；所述燃烧器为连接在所述开口端的烧嘴(22)，烧嘴(22)通过开口端伸入辐射管(25)中。

3.根据权利要求2所述的燃气加热沉积炉，其特征在于，所述烧嘴(22)包括燃气内管(221)、套设在所述燃气内管(221)外的空气外管(222)以及烧嘴通道(224)，所述燃气内管(221)用于与出气管连通，所述烧嘴通道(224)分别与空气外管(222)出风口、燃气内管(221)连通并延伸至辐射管(25)内。

4.根据权利要求3所述的燃气加热沉积炉，其特征在于，所述烧嘴通道(224)包括柱状部(224a)，所述柱状部(224a)的一端与空气外管(222)连接，另一端呈锥形凸起形成有用于混合燃气与空气的锥形部(224b)。

5.根据权利要求4所述的燃气加热沉积炉，其特征在于，所述空气外管(222)与开口端之间还安装有烟气管(223)，所述烟气管(223)上设置有烟气出口，所述空气外管(222)与烟气管(223)的顶部、烟气管(223)的底部与开口端之间分别通过法兰连接。

6.根据权利要求5所述的燃气加热沉积炉，其特征在于，所述辐射管(25)内设置有套管(27)，所述套管(27)内形成有贯穿的燃烧通道，所述燃烧通道与烧嘴通道(224)相连通。

7.根据权利要求6所述的燃气加热沉积炉，其特征在于，所述烟气管(223)与柱状部(224a)之间形成有第一环形间隙，所述辐射管(25)与套管(27)之间形成有第二环形间隙，所述第一环形间隙与第二环形间隙连通。

8.一种燃气加热沉积炉系统，其特征在于，包括：权利要求1～7任意一项所述的燃气加热沉积炉，还包括尾气循环管以及设置在尾气循环管上的尾气净化装置，所述尾气循环管一端连接于所述炉体(1)的出气口，另一端连接于燃气内管(221)的进气口，用于循环利用炉体(1)内化学气相沉积反应后的尾气，所述尾气净化装置包括一级尾气净化设备，用于去除尾气中的腐蚀性气体与降温；二级尾气净化设备，用于去除尾气中的粉尘和油雾。

9.根据权利要求8所述的燃气加热沉积炉系统，其特征在于，还包括烟气预热管以及设置在烟气预热管上的预热装置(24)，用于对将要进入炉体(1)内的化学气体进行预热，所述预热装置(24)一端连接烟气管(223)的烟气出口，另一端用于烟气排放。

10.根据权利要求9所述的燃气加热沉积炉系统，其特征在于，所述尾气循环管上还连通有燃气供给管，所述尾气循环管上设置有尾气切断阀(18)，用于控制化学气相沉积反应后经尾气净化装置净化后的尾气的通断，所述燃气供给管上设置有燃气切断阀(19)，用于控制燃气的通断。