[发明专利]内嵌肖特基二极管的复合功率开关器件及其制作方法

摘要

本发明公开了一种内嵌肖特基二极管的复合功率开关器件，主要解决现有功率开关器件只能单向导通的问题。其包括：衬底、过渡层、第一沟道层、第一势垒层、第二沟道层、第二势垒层；第二势垒层上部依次设有P型块和栅极；第一沟道层、第一势垒层、第二沟道层、第二势垒层的左、右两侧均设有第一台面，这两个第一台面上分别为阳极与漏极，左侧的第一台面右侧依次为第二台面和源极。第一沟道层与第一势垒层的接触界面形成电子通道，该通道与漏极、阳极构成肖特基二极管结构；第二沟道层、第二势垒层、P型块、漏极、源极、栅极共同构成功率开关晶体管。本发明可降低损耗，提升器件集成度，且能实现双向导通特性，用作开关器件。