[发明专利]一种半导体耗材耗用量的监控方法、装置及设备在审
| 申请号： | 202210562308.X | 申请日： | 2022-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN114860810A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 刘登峰;谢佳玲;石文颖 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G06F16/2458 | 分类号： | G06F16/2458;G06F17/18;G06Q50/04 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 苑琳琳 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请提供一种半导体耗材耗用量的监控方法、装置及设备，其方法包括：获取与目标半导体耗材的耗用相关的耗材数据；根据获取的耗材数据及采集方式，及预先建立的与不同耗材数据和采集方式对应的耗材分析模型，确定获取的耗材数据对应的耗材分析模型；利用确定的耗材分析模型基于获取的耗材数据进行对应的计算，得到所述目标半导体耗材的实际耗用量，利用本申请提供的监控方法，可以自动并且准确的确定出不同类型的半导体耗材的实际耗用量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 耗材 用量 监控 方法 装置 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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