[发明专利]一种电涡流传感器、金属膜厚度监测系统及方法在审
| 申请号： | 202210561140.0 | 申请日： | 2022-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN114993157A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 李婷;张康;李坤;崔云承;尹影;张为强;白琨 | 申请（专利权）人： | 北京烁科精微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 李静玉 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种电涡流传感器、金属膜厚度监测系统及方法，电涡流传感器，包括：激励模块，包括激励线圈、磁芯和第一电容，磁芯包括容纳部、束口部和缠绕部，容纳部和束口部连接以形成一放置腔，缠绕部设置在放置腔内，激励线圈绕设于缠绕部上，束口部远离容纳部的一侧的开口小于靠近容纳部的一侧的开口；接收模块，包括接收线圈和第二电容，接收线圈设置于束口部远离容纳部的一侧的开口处。该电涡流传感器、金属膜厚度监测系统及方法相较于现有技术，在晶圆边缘处衰减区域更窄、膜厚监测更精确，有效避免因边缘效应带来的厚度监测数据失真，提升加工准确性，拓展了晶圆可利用区域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涡流 传感器 金属膜 厚度 监测 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京烁科精微电子装备有限公司，未经北京烁科精微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210561140.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
