[发明专利]用于大面积钙钛矿薄膜表面处理设备及工艺在审
| 申请号： | 202210558500.1 | 申请日： | 2022-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN115132927A | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 安扬;袁晨辰;朱桂;张茜;范斌;田清勇 | 申请（专利权）人： | 昆山协鑫光电材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/48 | 分类号： | H01L51/48 |
| 代理公司： | 苏州企航知识产权代理事务所(普通合伙) 32354 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出了一种用于大面积钙钛矿薄膜表面处理设备及工艺，包括主反应系统，上下料系统，排气系统，其工艺包括以下步骤：S1:在反应槽内注入钙钛矿表面处理溶液，同时对溶液加温室温～200℃，并将载气从载气进入口通入反应槽内，并形成溶液鼓泡；S2:将涂有钙钛矿活性层的玻璃基片由上下料系统送至主反应腔内的基板上，载气从进气系统的载气排出口进入主反应腔；本发明将固体材料、液体材料、溶液材料等都转换为气态材料对钙钛矿光伏组件进行均匀、快速的表面处理；整个处理流程可以连续化进行，专用设备亦可整合进流水线式生产线，不会降低原本的生产效率和产量；钙钛矿材料对于缺陷和杂质的容忍度更好，可以略微放宽对设备气密性和使用材料纯度的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 大面积 钙钛矿 薄膜 表面 处理 设备 工艺 | ||
【主权项】：
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