[发明专利]一种电子级乙硅烷的连续生产制备系统及其生产工艺有效
| 申请号： | 202210538469.5 | 申请日： | 2022-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN114715900B | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 李群生 | 申请（专利权）人： | 北京化工大学 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 肖莎 |
| 地址： | 100020 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子级乙硅烷的连续生产制备系统及其生产工艺，混料机与真空炉相连完成硅镁合金的制备，继而与反应器相连完成进料需求，反应器还连接有液氨和干燥氯化铵两条进料管道，分子筛进料端通过管路与反应器的出料口相连，分子筛的出料端通过管路与多级精馏系统相连，从多级精馏系统出口端得到电子级乙硅烷，其纯度可达99.999%（5N级）或以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 硅烷 连续生产 制备 系统 及其 生产工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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