[发明专利]一种低氧钽靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202210516810.7 | 申请日： | 2022-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN114875369B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;黄洁文 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F1/142;B22F1/145;B22F3/04;B22F3/10;B22F3/15;B22F9/02;B22F9/04 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 牛海燕 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种低氧钽靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)将钽源置于氢化装置并抽真空，通入氢气加热，待氢化装置内压力不再下降时停止加热，得到氢化钽源；(2)将步骤(1)所述氢化钽源依次进行破碎和热处理后，得到脱氢钽粉；(3)将步骤(2)所述脱氢钽粉依次进行冷等静压、真空烧结、脱气处理和热等静压，得到低氧钽靶材。本发明将脱氢钽粉采用冷等静压、真空烧结和热等静压相结合的方式，大大降低钽靶材的氧含量，钽靶材的氧含量低于100ppm，同时保证了钽靶材的纯度和致密度，致密度高达99.9％，纯度高达99.9999％，具有较好的工业应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低氧 钽靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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