[发明专利]一种工艺腔室及平行度的检测方法在审
| 申请号： | 202210496614.8 | 申请日： | 2022-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN114914147A | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 王月姣;刘振华;李云飞;赵忠生;郭士选 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;G01B21/24 |
| 代理公司： | 深圳市嘉勤知识产权代理有限公司 44651 | 代理人： | 帅进军 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种工艺腔室及平行度的检测方法，工艺腔室包括腔室本体和盖设于腔室本体上方的腔室盖板；承载装置具有承载晶圆的承载面；介质窗具有与承载面相对设置的第一表面和远离承载面的第二表面；检测组件包括处理器和设置于腔室盖板上的多个检测器，沿每个检测器在承载面的投影方向，第二表面与对应的检测器器之间具有第一距离，第一表面与承载面之间具有第二距离，检测器与承载面之间具有第三距离，检测器检测对应的第一距离，处理器根据多个第一距离和预先获得的多个第三距离计算多个第二距离两两之间的差值，并将多个差值的绝对值分别与预设阈值进行比较；多个调平组件与介质窗连接。本申请的工艺腔室检测以及调平操作简单，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工艺 平行 检测 方法 | ||
【主权项】：
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