[发明专利]微机电系统声波转换器在审
| 申请号： | 202210486595.0 | 申请日： | 2022-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN115304021A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 林孝义;陈冠杰;魏一峰;周耀圣 | 申请（专利权）人： | 玻音先创科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 江葳 |
| 地址： | 中国台湾新北*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微机电系统声波转换器。所述声波转换器包含第一板、间隔层以及在第一板和间隔层之上的第二板。所述第一板包含一载板、第一衬底层和第一金属层。所述载板具有形成在中央区域中的第一开口。所述第一衬底层位于所述载板上以及所述第一开口的上方。所述第一金属层位于所述第一衬底层上。所述间隔层位于所述第一板上并围绕所述中央区域。所述第二板包含第二衬底层、位于所述间隔层上的第二金属层、以及贯穿所述第二衬底层与所述第二金属层的多个第二开口。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 声波 转换器 | ||
【主权项】：
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