[发明专利]微机电系统声波转换器

权利要求书

1.一种声波转换器，包含：

第一板，包含：

载板，其具有形成在所述载板的中央区域中的第一开口；

第一衬底层，其位于所述载板上以及所述第一开口上方；及

第一金属层，其位于所述第一衬底层上；

间隔层，其位于所述第一板上并围绕所述中央区域；及

第二板，其在所述第一板以及所述间隔层上方，并且包含：

第二衬底层；

第二金属层，其位于所述间隔层上；及

多个第二开口，其贯穿所述第二衬底层与所述第二金属层。

2.根据权利要求1所述的声波转换器，其中所述间隔层形成围绕所述中央区域的封闭式支撑壁。

3.根据权利要求1所述的声波转换器，其中所述间隔层包含围绕所述中央区域的多个支撑壁。

4.根据权利要求1所述的声波转换器，进一步包含导电胶层，位于所述间隔层的顶部和侧壁上并电气连接所述第二金属层。

5.根据权利要求1所述的声波转换器，其中所述载板具有厚度梯度。

6.一种声波转换器模块，包含：

第一声波转换器，包含：

第一底板，包含：

第一玻璃层，其具有形成在所述第一玻璃层的中央区域中的第一开口；

第一衬底层，其位于所述第一玻璃层上以及所述第一开口上方；及

第一金属层，其位于所述第一衬底层上；

第一间隔层，其位于所述第一底板上并围绕所述第一玻璃层的所述中央区域；及

第一顶板，其具有多个第二开口并且包含：

第二衬底层；及

第二金属层，其位于所述第一间隔层上；

第一封胶壁，其位于所述第一声波转换器的所述第一底板上；

顶盖，其位于所述第一封胶壁上；及

第一信号处理电路，其耦接所述第一金属层以及所述第二金属层。

7.根据权利要求6所述的声波转换器模块，其中所述顶盖包含：

第二玻璃层；及

第一导电层，其位于所述第二玻璃层上。

8.根据权利要求6所述的声波转换器模块，进一步包含第二声波转换器，其中所述第二声波转换器包含：

第二底板，包含具有第三开口的第三玻璃层、位于所述第二玻璃层上的第三衬底层以及位于所述第三衬底层上的第三金属层；

第二间隔层，其位于所述第二底板上；及

第二顶板，其具有多个第四开口并包含一第四衬底层以及位于所述第二间隔层上的第四金属层。

9.根据权利要求8所述的声波转换器模块，进一步包含第二封胶壁，其位于所述第一声波转换器的所述顶盖以及所述第一底板之间，并且围绕所述第二波转换器。

10.根据权利要求8所述的声波转换器模块，进一步包含第二封胶壁，其位于所述第一声波转换器的所述第一底板上并围绕所述第二声波转换器。