[发明专利]微机电系统声波转换器

说明书

本发明提供了一种微机电系统声波转换器。所述声波转换器包含第一板、间隔层以及在第一板和间隔层之上的第二板。所述第一板包含一载板、第一衬底层和第一金属层。所述载板具有形成在中央区域中的第一开口。所述第一衬底层位于所述载板上以及所述第一开口的上方。所述第一金属层位于所述第一衬底层上。所述间隔层位于所述第一板上并围绕所述中央区域。所述第二板包含第二衬底层、位于所述间隔层上的第二金属层、以及贯穿所述第二衬底层与所述第二金属层的多个第二开口。

技术领域

本发明实施例涉及一种微机电系统声波转换器。

背景技术

随着电子和信息产业的快速发展，多媒体播放器设备也朝越来越小型化和便携化而发展。例如，电子便携式媒体播放器(PMP)或数字音频播放器(DAP)即是一种可以存储和播放多媒体文件的便携式电子设备。上述设备都需要扬声器来播放声音，但是现有的扬声器结构和制造技术不利于集成到需要轻薄短小的多媒体播放设备中。为了弥补这种不足，开发了以下技术手段。

发明内容

本发明之一态样提供了一种声波转换器。所述声波转换器包含第一板、间隔层以及在所述第一板和所述间隔层之上的第二板。所述第一板包含载板、第一衬底层和第一金属层。在所述载板的中央区域中形成有第一开口。所述第一衬底层位于所述载板上以及所述第一开口上方。所述第一金属层位于所述第一衬底层上。所述间隔层位于所述第一板上并围绕所述中央区域。所述第二板包含第二衬底层、位于所述间隔层上的第二金属层、以及贯穿所述第二衬底层与所述第二金属层的多个第二开口。

本发明之另一态样提供了一种声波转换器模块。所述声波转换器模块包含第一声波转换器、第一封胶壁、顶盖和第一信号处理单元。所述第一声波转换器包含第一底板、第一间隔层和第一顶板。所述第一底板包含第一玻璃层、形成在所述第一玻璃层的中央区域中的第一开口、位于所述第一玻璃层上且位于所述第一开口上方的第一衬底层、以及位于所述第一衬底层上的第一金属层。所述第一间隔层位于所述第一底板上并围绕所述第一玻璃层的中央区域。所述第一顶板具有多个第二开口。所述第一顶板还包含位于所述第一间隔层上的第二衬底层和第二金属层。所述第一封胶壁位于所述第一声波转换器的所述第一底板上。所述顶盖位于所述第一封胶壁上。所述第一信号处理电路耦接所述第一金属层与所述第二金属层。

附图说明

从结合附图来阅读的以下具体实施方式最好理解本公开的方面。应注意，根据行业标准做法，各种构件未按比例绘制。事实上，为使论述清楚，可任意增大或减小各种构件的尺寸。

图1是本揭示的用于形成微机电(microelectromechanical；MEMS)麦克风的方法实施例的流程图。

图2A是本揭示根据形成MEMS麦克风的方法在制造阶段MEMS麦克风的实施例的俯视图，图2B是沿图2A的线I-I'截取的截面图，图2C是沿图2A的线II-II'截取的截面图。

图3A是在图2A的阶段之后的制造阶段的MEMS麦克风的俯视图，图3B是沿图3A的线I-I'截取的截面图，图3C是沿图3A的线II-II'截取的截面图。

图4A是在图3A的阶段之后的制造阶段的MEMS麦克风的俯视图，图4B是沿图4A的线I-I'截取的截面图，图4C是沿图4A的线II-II'截取的截面图。

图5A是在图4A的阶段之后的制造阶段的MEMS麦克风的俯视图，图5B是沿图5A的线I-I'截取的截面图，图5C是沿图5A的线II-II'截取的截面图。

图6A是在图5A的阶段之后的制造阶段的MEMS麦克风的俯视图，图6B是沿图6A的线I-I'截取的截面图，图6C是沿图6A的线II-II'截取的截面图。

图7是绘示本揭示包含压电式(Piezoelectric-Based)MEMS麦克风的声波转换器的实施例的示意图。

图8是绘示本揭示包含压电式MEMS麦克风的声波转换器的实施例的示意图。