[发明专利]太阳电池及其制备方法、光伏系统

摘要

本发明提供了一种太阳电池及其制备方法、光伏系统，其中制备方法包括如下步骤：提供硅片衬底，硅片衬底具有第一表面和与第一表面相对的第二表面；在硅片衬底的第一表面上依次沉积形成氧化层、掺杂非晶硅膜层和氧化硅掩膜层；对硅片衬底进行退火处理，以使掺杂非晶硅膜层转化为掺杂多晶硅膜层；采用激光对第一表面进行图案化处理，以破坏或去除预设区域的氧化硅掩膜层和掺杂多晶硅膜层，并保留全部或部分氧化层，从而形成图案化区域。本发明的制备方法在对硅片衬底的正面进行制绒时，能够有效地避免硅片衬底的背面图案化区域对应的第一表面也被制绒，提高太阳电池的开路电压和电池效率。