[发明专利]半导体温控设备的振动测试方法及系统在审
| 申请号： | 202210471046.6 | 申请日： | 2022-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN114964460A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 李轩;宁腾飞 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 么立双 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种半导体温控设备振动测试方法及系统，半导体温控设备振动测试方法包括：使半导体温控设备运行待测试工况；获取半导体温控设备的压缩机的振动加速度数据，以及半导体温控设备的管道的待测点的时域速度数据和频率数据；根据待测点的时域速度数据和频率数据，获得风险频率；根据振动加速度数据和待测点的时域速度数据，获得各周期频率下待测点的振型；根据风险频率和待测点的振型，获得风险频率下管道的振动模态。通过半导体温控设备的振动测试系统对运行中的半导体温控设备的振动数据进行采集，从而得到管道等关键重要结构的振动响应，再通过振动响应检测，可以反馈设备中的振动风险，确保设备安全平稳运行。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 温控 设备 振动 测试 方法 系统 | ||
【主权项】：
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