[发明专利]一种MEMS加速度计及其形成方法在审
| 申请号： | 202210464281.0 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN114594281A | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 李森科·伊戈尔·叶夫根耶维奇;徐宝;吴刚;徐元 | 申请（专利权）人： | 苏州米洛微纳电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/18 |
| 代理公司： | 杭州创智卓英知识产权代理事务所(普通合伙) 33324 | 代理人： | 季健康 |
| 地址： | 215200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS加速度计及其形成方法，其MEMS加速度计包括：衬底；第一检验质量块以及第二检验质量块，分别弹性悬设于衬底上，第一检验质量块包括主部以及次部；感测梳，设有四组，每组感测梳包括移动梳和固定梳，固定梳与移动梳相互交叉形成叉指结构，且沿着平行于其所在侧对应的第二检验质量块边长的方向延伸，固定梳固定设置于衬底上，各移动梳与第二检验质量块的对应各侧面弹性连接，移动梳弹性连接于衬底上；第一固定平面电极和第二固定平面电极，分别固定设置于衬底上，第一固定平面电极位于主部下方，第二固定平面电极位于次部下方。本发明技术方案仅需一个衬底即可实现使用差分电容测量三轴加速度，从而降低了制造成本和难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 加速度计 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
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