[发明专利]一种晶圆旋转装置

摘要

本发明涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种晶圆旋转装置，包括：N个旋转轮，围设在晶圆的边缘，且与晶圆的边缘接触，以夹持晶圆；N大于4，且满足任意相邻两个旋转轮中心连线的长度大于晶圆上设有的切边的长度；N个旋转轮包括：至少两个相邻的主动旋转轮；第一动力结构，与主动旋转轮连接，以带动主动旋转轮旋转，进而带动晶圆旋转；本申请利用4个以上的旋转轮对晶圆进行有效夹持，并且，在旋转轮旋转时，保证与切边相对的旋转轮最多只能有一个，使得尽可能多的旋转轮一直在夹持晶圆，夹持有效和稳定；且在一个主动旋转轮位于切边处时，至少还有一个主动旋转轮可以提供旋转动力，使得晶圆可以稳定地旋转。