[发明专利]一种晶圆旋转装置

权利要求书

1.一种晶圆旋转装置，其特征在于，适用于具有切边的晶圆的驱动，包括：

N个旋转轮(2)，围设在晶圆(1)的边缘，且与晶圆(1)的边缘接触，以夹持所述晶圆(1)；

所述N满足以下不等式，

其中，L为切边的长度，D为晶圆的直径；

所述N个旋转轮(2)包括：至少两个相邻的主动旋转轮；

第一动力结构，与所述主动旋转轮连接，以带动主动旋转轮旋转，进而带动晶圆(1)旋转。

2.根据权利要求1所述的晶圆旋转装置，其特征在于，所述N个旋转轮均为主动旋转轮，且均布在晶圆(1)的边缘。

3.根据权利要求1或2所述的晶圆旋转装置，其特征在于，

所述第一动力结构包括：

传动轴(3)，一端连接主动旋转轮；

第一电机，通过第一传动机构与传动轴(3)的另一端连接。

4.根据权利要求3所述的晶圆旋转装置，其特征在于，所述N个旋转轮(2)包括第一组旋转轮和第二组旋转轮；

还包括：

两个固定板(4)，所述第一组旋转轮和第二组旋转轮对应的传动轴(3)分别安装在两个固定板(4)上；

第一电机和第一传动机构均为分别与两个固定板(4)对应设置的两组。

5.根据权利要求4所述的晶圆旋转装置，其特征在于，还包括第二动力结构，所述第二动力结构包括：

第二电机、与第二电机的输出轴连接的第二传动机构以及分别与两个固定板(4)连接的一对夹板(12)，一对夹板(12)分设在所述第二传动机构传动方向相反的两部分上，以在所述第二电机的作用下带动两个固定板(4)相对靠近或远离运动，进而通过第一组旋转轮和第二组旋转轮夹持或放松所述晶圆(1)。

6.根据权利要求5所述的晶圆旋转装置，其特征在于，所述第二传动机构包括：

两个带轮，其中一个带轮与第二电机的输出轴连接；

皮带，连接所述两个带轮。

7.根据权利要求5所述的晶圆旋转装置，其特征在于，所述第二传动机构包括：

两根互相平行且旋转方向相反的丝杠，其中一根丝杠与第二电机的输出轴连接；

传动件，连接两根丝杠。

8.根据权利要求5－7任一项所述的晶圆旋转装置，其特征在于，所述第二电机为第二伺服电机(14)。

9.根据权利要求4－8任一项所述的晶圆旋转装置，其特征在于，还包括：

底板(10)，所述传动轴(3)贯穿所述底板(10)设置；

两个滑块(15)，分别设置在两个固定板(4)上；

导轨(11)，设于所述底板(10)上，且与所述两个滑块(15)滑动连接。

10.根据权利要求1－9任一项所述的晶圆旋转装置，其特征在于，所述晶圆的直径为150mm，N为6。