“张继静”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果12个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]一种用于石英砂擦洗装置-CN202220296461.8有效
发明人：蔡青峰;李品超;张继静 -专利权人：宁夏青铜峡市丰旗石英砂有限公司
申请日： 2022-02-14 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： B08B3/10 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于石英砂擦洗装置，包括混合箱，所述混合箱顶部表面固定连接有电机，所述电机输出端固定连接有转动杆，所述转动杆表面固定连接有多组均匀分布的搅拌片，所述混合箱底部表面开设有出料口，所述混合箱底部表面固定连接有电阀门，所述混合箱底部表面固定连接有多组均匀分布的支撑块，多组均匀分布的支撑块底端均固定连接有擦洗箱，所述擦洗箱内腔左侧壁表面固定连接有多组均匀分布的第一导流槽板，本实用新型解决了在石英砂的生产过程中，需要不断的对石英砂进行擦洗作业，去除石英砂表面的杂质，来提高石英砂的产品质量，避免石英砂的颗粒大小不均，产品质量不佳导致造成经济上的损失的问题。
一种用于石英砂擦洗装置

[实用新型]一种高效的石英砂过滤清洗装置-CN202220269895.9有效
发明人：蔡青峰;李品超;张继静 -专利权人：宁夏青铜峡市丰旗石英砂有限公司
申请日： 2022-02-10 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： B08B3/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高效的石英砂过滤清洗装置，本实用新型涉及石英砂清洗技术领域，包括底板，底板的上端面固定安装有过滤箱体，过滤箱体的外侧于底板的上表面通过四根立柱固定有基板，基板的上端面固定有两个呈左右对称设置的立板，两个立板之间固定有清洗罐体，清洗罐体的上端面固定安装有输出方向朝下的驱动电机，驱动电机的两侧于清洗罐体上表面的左右两侧分别设有清洗剂添加口和石料添加斗，清洗罐体的底部与过滤箱体的顶部连接有通料管，本实用新型结构设计合理，使用简单方便，能高效地对石英砂进行清洗，同时能有效地对清洗后的石英砂进行过滤筛分，方便石英砂的后续使用，具有较强的使用价值和应用前景。
一种高效石英砂过滤清洗装置

[发明专利]一种晶圆旋转装置-CN202210462518.1在审
发明人：王文举;田知玲;张继静;史霄;李伟 -专利权人：北京烁科精微电子装备有限公司
申请日： 2022-04-27 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种晶圆旋转装置，包括：N个旋转轮，围设在晶圆的边缘，且与晶圆的边缘接触，以夹持晶圆；N大于4，且满足任意相邻两个旋转轮中心连线的长度大于晶圆上设有的切边的长度；N个旋转轮包括：至少两个相邻的主动旋转轮；第一动力结构，与主动旋转轮连接，以带动主动旋转轮旋转，进而带动晶圆旋转；本申请利用4个以上的旋转轮对晶圆进行有效夹持，并且，在旋转轮旋转时，保证与切边相对的旋转轮最多只能有一个，使得尽可能多的旋转轮一直在夹持晶圆，夹持有效和稳定；且在一个主动旋转轮位于切边处时，至少还有一个主动旋转轮可以提供旋转动力，使得晶圆可以稳定地旋转。
一种旋转装置

[实用新型]高效石英砂烘干炉-CN202220579506.2有效
发明人：蔡青峰;李品超;张继静 -专利权人：宁夏青铜峡市丰旗石英砂有限公司
申请日： 2022-03-14 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： F26B11/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了高效石英砂烘干炉，包括外壳、烘干槽、输送结构和烘干搅拌机构；本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，这里将燃料灶产生的热量输送到所有的导热管内部，从而提高了烘干的均匀性，也就提高了烘干的效率；本实用新型中设置的电机，能够通过传动轴带动转盘一和转盘二整体旋转，从而能过通过翻动板对烘干槽的原料进行翻动，同时所有的导热管也会一起围绕传动轴轴线旋转，也就进一步提高了烘干的均匀性；本实用新型中设置的鼓风机，能够加快热量流动的速度，从而满足了不同情况下烘干的需要，也就提高了烘干的效果。
高效石英砂烘干

[实用新型]一种石英砂筛分机-CN202220549699.7有效
发明人：李品超;蔡青峰;张继静 -专利权人：宁夏青铜峡市丰旗石英砂有限公司
申请日： 2022-03-14 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： B07B1/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石英砂筛分机，包括机座、工作腔、转体、驱动振动机构、漏斗和多级筛分机构；本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，这里设置的驱动振动机构，能够通过电机驱使转体整体旋转，从而提高了筛选的效率，另外配合固定斜面块和弹簧当转体旋转时也会发生左右移动，也就进一步提高了筛选的效率；本实用新型设置的出料口三、收集孔二和出料口一，便于将筛选后的产物分别通过收集孔三、收集孔二和收集孔一输送到对应的收集盒三、收集盒二和收集盒一内部，从而提高了工作时候的便利性。
一种石英砂筛分

[实用新型]一种高效石英砂擦洗机-CN202220274055.1有效
发明人：李品超;蔡青峰;张继静 -专利权人：宁夏青铜峡市丰旗石英砂有限公司
申请日： 2022-02-10 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： B08B3/10 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种高效石英砂擦洗机，包括擦洗筒，所述擦洗筒顶部表面固定连接有电机，所述电机输出端固定连接有转动杆，所述转动杆表面固定连接有搅拌盘，所述擦洗筒内部固定连接有摩擦筒，所述摩擦筒内部开设有多组均匀分布的擦洗槽，所述擦洗槽内壁均固定连接有凸起球，所述凸起球数量设置为多组，所述擦洗筒顶端固定连接有疏水管，所述擦洗筒顶部表面开设有进料口，所述擦洗筒底端开设有出料口，本实用新型解决了在石英砂的生产过程中，需要对石英砂进行擦洗，使物料表面粘附的杂质及氧化铁脱落，物料棱角光滑，达到物料纯净的效果，提高石英砂的纯度的问题。
一种高效石英砂擦洗

[发明专利]一种获取待测薄膜参数值的方法及装置-CN201711112568.2有效
发明人：柳滨;王东辉;刘一鸣;王文举;张继静;郑永军 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2017-11-13 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本申请提供了一种获取待测薄膜参数值的方法及装置，其中，该方法包括：获取待测薄膜厚度以及所述待测薄膜的实测白光反射率谱；提取所述白光反射率谱中预定数量的波长点，依据为波长点随机设定的待测薄膜参数值构建种群；判断种群是否符合预先设置的遗传算法结束条件；若所述种群符合遗传算法结束条件，在符合遗传算法结束条件的种群中，获取种群适应度最低的种群；基于所述种群适应度最低的种群、待测薄膜厚度以及预先设置的膜厚计算公式，获取待测薄膜参数值。本申请所提供的方案能够提升待测薄膜参数值精度。
一种获取薄膜参数方法装置

[发明专利]CMP后清洗设备清洗刷驱动轴结构及使用方法-CN201611208175.7有效
发明人：陶利权;费玖海;舒福璋;张继静 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2016-12-23 - 公布日： 2019-05-17 - 主分类号： B08B1/04 文献下载
摘要：一种CMP后清洗设备清洗刷驱动轴结构及使用方法,该结构包括驱动单元以及与驱动单元呈套接组合的驱动轴单元。驱动单元包括电机+减速器、电机座、直通接头和固定套。驱动轴单元包括驱动轴、压簧、锁钉和定心卡套。驱动轴前部穿入定心卡套内，定心卡套与驱动轴呈轴孔滑动定位且呈正四边形轴孔贯穿式匀性传力，驱动轴后部穿入驱动单元的固定套和电机座内，并与电机+减速器的输出轴串接一体并锁定。本发明直接将伸缩式定心卡接功能与驱动单元融合，结构紧凑简练，方便卡接。驱动轴单元的四方匀性力传递及轴向滑动，可明显提升其卡接同心度。驱动单元引入气阻隔离功能确保了密封性。由上述几种措施的综合优势可有效便捷对清洗刷进行伸缩式定心卡接。
cmp 清洗设备洗刷驱动结构使用方法

[发明专利]一种晶圆电镀装置及电镀方法-CN201710207121.7有效
发明人：刘永进;林煦呐;张继静;王文举 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2017-03-31 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： C25D7/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆电镀装置，包括盛装有电镀液的电镀容器，晶圆、阳极及电镀电源；该晶圆与该阳极浸没于该电镀液中；该晶圆通过该电镀电源与该阳极电连接，使得该晶圆与该阳极之间形成电镀电场；其中，该电镀电场的中心区域内设有与该晶圆同心的外侧第一环形障碍物及外侧第二环形障碍物。本发明通过通过在晶圆与阳极之间分别设置外侧第一环形障碍物及外侧第二环形障碍物来改变电镀过程中晶圆表面边缘区域与阳极之间的外侧传输电阻的阻值，并通过旋转电机带动晶圆旋转，从而实现了晶圆电镀表面电场的均匀分布，解决了晶圆表面电场分布不均而导致电镀镀膜均匀性的问题，具有操作简单、均匀性好、电镀效率高等特点。
一种电镀装置方法

[发明专利]一种检测晶圆放置状态的方法及系统-CN201711083663.4在审
发明人：王文举;张继静 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2017-11-07 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： G01D21/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种检测晶圆放置状态的方法及系统，可以提升晶圆放置状态检测精度。包括光源发生器、光源接收器、晶圆及光波接收透射器，光源发生器输出的光源照射到晶圆壁上；光波接收透射器位于晶圆与光源接收器之间，用于接收光源发生器输出的光源中未被晶圆遮挡的光源，对第一波长光源进行透射，过滤其它波长的光源；光源接收器接收光波接收透射器透射的第一波长光源，获取第一波长光源的光源强度，判断获取的光源强度是否小于预先设置的第一波长光源阈值；若获取的光源强度小于预先设置的第一波长光源阈值，确定晶圆水平放置，若获取的光源强度不小于预先设置的第一波长光源阈值，确定晶圆倾斜放置或未放置。
一种检测放置状态方法系统

[发明专利]透射式接收探头夹紧装置及调整方法-CN201510175471.0有效
发明人：陶利权;黄晓鹏;吕荣华;张继静 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
申请日： 2015-04-14 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： G01D11/16 文献下载
摘要：本发明提出了一种透射式接收探头夹紧装置及调整方法，所述夹紧装置包括用于连接透射式发射探头装置的基座、固定于所述基座上的工字座、设于所述工字座下方的上平座、固定于所述上平座底部的上套筒及活动套设于所述上套筒下部的下套筒，所述下套筒转动连接有用于收容透射式接收探头的套管，所述套管相对透射式接收探头可轴向移动及径向转动，且所述套管通过第一紧固螺钉与透射式接收探头进行锁紧定位。本发明实现了对透射式接收探头进行实时更换及对准调整，提高了透射式接收探头的检测精度及测试效果。
透射接收探头夹紧装置调整方法

[发明专利]超声扫描显微镜的承片台夹紧装置及调平方法-CN201210581987.1有效
发明人：陶利权;黄晓鹏;付纯鹤;张继静 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
申请日： 2012-12-28 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： G01N29/22 文献下载
摘要：一种超声扫描显微镜的承片台夹紧装置，包括底座以及承片台或者标准料盒。底座上的两端分别固定一个固定托架结构和一个活动托架结构，两个结构的托架上分别设有承片台的托持面和标准料盒的托持面，两个结构之间托持并夹紧承片台或者标准料盒。活动托架结构设有导向装置、复位装置和限位装置。右托架通过导向、复位、限位装置具有手动夹紧运动轨迹。处于水介质中工作的左右立柱、左右托架由PMMA制成，根除了零件以及连接螺钉产生锈蚀的现象，杜绝了装置因锈死发生操作失灵现象。本发明的分离式结构，可对承片台实时取放、夹紧固定，能与标准料盒随意替换。本发明操作简单、易于对超声扫描显微镜下的承片台调平。
超声扫描显微镜承片台夹紧装置平方

1
共 12 条