[发明专利]一种半导体制程清洗过滤用多孔膜及其生产方法在审
| 申请号： | 202210442764.0 | 申请日： | 2022-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN114832654A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 彭震;王天坤 | 申请（专利权）人： | 苏州思脉新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D71/78 | 分类号： | B01D71/78;B01D71/72;B01D67/00;C02F1/44;C02F101/20 |
| 代理公司： | 苏州汇智联科知识产权代理有限公司 32535 | 代理人： | 高文献 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种半导体制程清洗过滤用多孔膜及其生产方法，涉及多孔膜技术领域，本发明包括以下成分及其重量百分比：苯并15－冠－5接枝聚乙烯醇10％～18％、水78％～89％、聚乙二醇1％～4％、凝固浴、交联剂，其多孔膜的生产方法，包括以下步骤：选取苯并15－冠－5接枝聚乙烯醇聚合物加入水中，搅拌溶解，得到聚合物溶液，之后相溶液中添加聚乙二醇，待完全溶解后得到铸膜液，之后将其脱泡并放置在自动刮膜机成型，之后通过凝固浴中进行相转化以及在交联剂中交联，以此来得到多孔膜。本发明为一种半导体制程清洗过滤用多孔膜及其生产方法，对Ag |
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| 搜索关键词： | 一种 半导体 清洗 过滤 多孔 及其 生产 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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