[发明专利]一种直板型实用化射频MEMS开关在审
| 申请号： | 202210442525.5 | 申请日： | 2017-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN114758928A | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 李孟委;吴倩楠;刘秋慧;张一飞;王莉 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 北京恒律知识产权代理有限公司 11416 | 代理人： | 刘凤玲 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 一种直板型实用化射频MEMS开关，主要结构由衬底、微波传输线、驱动电极、下电极、触点、上电极、固定锚点、空气桥、释放孔组成，微波传输线、驱动电极和下电极设置在衬底上，驱动电极位于上电极的下方，上电极为直板型结构，在上电极开孔，形成释放孔阵列，上电极的固定端通过固定锚点固定在微波传输线上，在下电极上设有单触点，本发明采用直板型上电极结构，具有简单实用、方便阻抗匹配的优点，在工艺加工中易于实现，适用于批量化生产，提高了开关的成品率，本发明还采用单触点结构，可以有效地改善双触点虚接引起的可靠性问题，增强了开关接触特性，减小了弱接触，避免开关烧蚀和粘连，使开关的寿命得到较大的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直板型 实用 射频 mems 开关 | ||
【主权项】：
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