[发明专利]一种直板型实用化射频MEMS开关

权利要求书

1.一种直板型实用化射频MEMS开关，其特征在于，所述开关包括：

衬底，所述衬底的表面具有微波传输线，所述微波传输线包括第一信号线和第二信号线，所述第一信号线和所述第二信号线的中间位置形成有断口；

上电极，所述上电极的固定端通过第一固定锚点固定在所述第一信号线上，所述上电极的中部及另一端延伸于所述衬底水平上方；

下电极，所述下电极的上表面上设置有单触点，所述单触点置于所述上电极的另一端下方，且所述下电极与所述第二信号线连接；

驱动电极，所述驱动电极设置在所述衬底上表面中心处，且所述驱动电极置于所述上电极下方，所述上电极对应所述驱动电极的位置处开设有释放孔阵列；

当所述驱动电极施加驱动电压时，能够使所述上电极弯曲，与所述单触点接触；当所述驱动电极未施加驱动电压时，所述上电极与所述单触点断开。

2.根据权利要求1所述的一种直板型实用化射频MEMS开关，其特征在于，所述上电极为长方形结构。

3.根据权利要求1或2所述的一种直板型实用化射频MEMS开关，其特征在于，所述释放孔阵列包括多个呈阵列状布置的释放孔；

所述释放孔阵列包括3-4排所述释放孔，按照所述信号线的长度方向排列，任意一排所述释放孔的数量为6-10个；

所述释放孔的直径大小为6-10μm，每排或每列任意相邻的两个所述释放孔之间间距为10-20μm。

4.根据权利要求1所述的一种直板型实用化射频MEMS开关，其特征在于，所述微波传输线还包括第一地线和第二地线，所述第一地线和所述第二地线分别设置于所述所述上电极及所述下电极的两侧。

5.根据权利要求4所述的一种直板型实用化射频MEMS开关，其特征在于，所述第二地线分为两段，两段所述第二地线之间通过空气桥连接；所述空气桥的两端分别通过第二固定锚点以及第三固定锚点与两段所述第二地线固定。

6.根据权利要求1所述的一种直板型实用化射频MEMS开关，其特征在于，所述衬底的材料为玻璃、陶瓷或高阻硅。

7.根据权利要求1所述的一种直板型实用化射频MEMS开关，其特征在于，所述第二信号线接近所述驱动电极的一端平齐延伸出所述下电极，所述下电极朝向所述上电极的表面上固定设置所述单触点。

8.根据权利要求4或5所述的一种直板型实用化射频MEMS开关，其特征在于，所述第一信号线、所述第二信号线、所述第一地线以及所述第二地线均为长方体，且所述第一地线以及所述第二地线等距分别设置在所述第一信号线以及所述第二信号线的两侧。

9.根据权利要求5所述的一种直板型实用化射频MEMS开关，其特征在于，在所述第二地线与所述驱动电极距离最短的位置处设置所述空气桥。

10.根据权利要求1所述的一种直板型实用化射频MEMS开关，其特征在于，所述单触点形状包括但不限于长方体、半球体或圆锥体。