[发明专利]一种导电粒子压痕检测设备在审
| 申请号： | 202210420128.8 | 申请日： | 2022-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN114740645A | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 洪亚德;林中龙;王士奇 | 申请（专利权）人： | 厦门福信光电集成有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 厦门致群财富专利代理事务所(普通合伙) 35224 | 代理人： | 刘兆庆 |
| 地址： | 361000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种导电粒子压痕检测设备，包括底座、检测机构及送检机构，所述检测机构包括线扫驱动组件、相机载台、偏移检测组件及粒子检测组件，所述偏移检测组件和粒子检测组件分别相向设置在所述相机载台的上侧和下侧，所述线扫驱动组件用于带动所述相机载台沿检测方向移动进行线扫检测，所述送料组件用于将待测样品输送至所述偏移检测组件和粒子检测组件之间。本发明提供一种导电粒子压痕检测设备，通过送检机构进行送料，由线扫驱动组件带动粒子检测相机和偏移检测相机自动进行线扫检测，取代人力，排除人为参与对产品接触的不良影响，不会对产品造成损伤，减小劳动强度，节省成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导电 粒子 压痕 检测 设备 | ||
【主权项】：
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