[发明专利]一种半导体检测用支撑结构在审

专利信息
申请号: 202210398601.7 申请日: 2022-04-16
公开(公告)号: CN114755467A 公开(公告)日: 2022-07-15
发明(设计)人: 刘宏星 申请(专利权)人: 刘宏星
主分类号: G01R1/04 分类号: G01R1/04;G01R31/26
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 721000 陕西省宝*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种半导体检测用支撑结构,涉及到半导体领域,包括底板,所述底板的顶侧通过多个第一伸缩杆安装有固定盘,所述固定盘上开设有多个滑孔,多个所述滑孔内均滑动安装有弹顶单元,多个所述弹顶单元的顶侧位于同一平面,所述固定盘的顶侧通过调节机构安装有定位杆。本发明通过多个弹顶单元的顶部位于同一平面形成一个支撑平面,用于支撑待检测的半导体,进行半导体检测时,金属棒的尖端压紧半导体,压力通过支撑柱传递到滑柱,对弹性单元设置合适的弹力值,当压力过大时,滑柱克服弹性单元的弹力向下滑动,使半导体与金属棒的尖端的距离增大,减小金属棒对半导体产生的压力,从而保护半导体,避免受损。
搜索关键词: 一种 半导体 检测 支撑 结构
【主权项】:
暂无信息
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