[发明专利]基于结构光相移的相位检测方法、电子装置及介质在审

专利信息
申请号: 202210396128.9 申请日: 2022-04-14
公开(公告)号: CN114894747A 公开(公告)日: 2022-08-12
发明(设计)人: 杜路平;杨爱萍;吴绵满;袁小聪 申请(专利权)人: 深圳大学
主分类号: G01N21/45 分类号: G01N21/45;G01N21/01
代理公司: 深圳尚业知识产权代理事务所(普通合伙) 44503 代理人: 杨勇
地址: 518000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种基于结构光相移的相位检测方法、电子装置和介质,方法包括:启动激光发射器,发射两束参考光在样品表面生成干涉场;控制两束参考光相位相等,扫描干涉场,得到第一个干涉场的强度信息;使两束参考光的初始相位向前移动π/2,扫描干涉场,得到第二个干涉场的强度信息;使两束参考光的初始相位再次向前移动π/2,扫描干涉场,得到第三个干涉场的强度信息;使两束参考光的相位再次向前移动π/2,扫描干涉场,得到第四个干涉场的强度信息;使用第一个、第二个、第三个、第四个干涉场的强度信息计算待测光场的相位分布;本发明的基于结构光相移的相位检测方法,具有功能更加丰富、测量系统更加简洁,相位恢复方法更加精确的优点。
搜索关键词: 基于 结构 相移 相位 检测 方法 电子 装置 介质
【主权项】:
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