[发明专利]基于结构光相移的相位检测方法、电子装置及介质在审
| 申请号: | 202210396128.9 | 申请日: | 2022-04-14 |
| 公开(公告)号: | CN114894747A | 公开(公告)日: | 2022-08-12 |
| 发明(设计)人: | 杜路平;杨爱萍;吴绵满;袁小聪 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
| 主分类号: | G01N21/45 | 分类号: | G01N21/45;G01N21/01 |
| 代理公司: | 深圳尚业知识产权代理事务所(普通合伙) 44503 | 代理人: | 杨勇 |
| 地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种基于结构光相移的相位检测方法、电子装置和介质,方法包括:启动激光发射器,发射两束参考光在样品表面生成干涉场;控制两束参考光相位相等,扫描干涉场,得到第一个干涉场的强度信息;使两束参考光的初始相位向前移动π/2,扫描干涉场,得到第二个干涉场的强度信息;使两束参考光的初始相位再次向前移动π/2,扫描干涉场,得到第三个干涉场的强度信息;使两束参考光的相位再次向前移动π/2,扫描干涉场,得到第四个干涉场的强度信息;使用第一个、第二个、第三个、第四个干涉场的强度信息计算待测光场的相位分布;本发明的基于结构光相移的相位检测方法,具有功能更加丰富、测量系统更加简洁,相位恢复方法更加精确的优点。 | ||
| 搜索关键词: | 基于 结构 相移 相位 检测 方法 电子 装置 介质 | ||
【主权项】:
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