[发明专利]一种用于化学气相沉积的气体管道反应器、使用其制备的材料及用途

摘要

本发明涉及一种用于化学气相沉积的气体管道反应器、使用其制备的材料及析氢催化剂。所述用于化学气相沉积的气体管道反应器包括管式炉，能够放置在所述管式炉炉管中的圆筒状石英管，所述圆筒状石英管的一端朝向所述管式炉炉管的气体进口；所述圆筒状石英管靠近所述管式炉的气体进口的一端被第一石英塞封口，且所述第一石英塞设置有通孔，用于连通所述圆筒状石英管管腔和所述管式炉炉管；所述圆筒状石英管远离所述管式炉的气体进口的一端被封口。本申请提供的用于化学气相沉积的气体管道反应器能够使薄膜物质源蒸发后在携带气体的作用下，弥漫在所述圆筒状石英管中，提高所述薄膜物质源的浓度，进而提高化学气相沉积的反应速率。