[发明专利]一种三氧化钼溅射靶材、制备方法以及靶材模具在审
| 申请号： | 202210392190.0 | 申请日： | 2022-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN114737159A | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 席莎;崔玉青;周莎;朱琦;杨秦莉;张晓;李晶 | 申请（专利权）人： | 金堆城钼业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C04B35/495;C04B35/622;C04B35/645;C04B35/626 |
| 代理公司： | 西安恒泰知识产权代理事务所 61216 | 代理人： | 王孝明 |
| 地址： | 710065 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种三氧化钼溅射靶材、制备方法以及靶材模具。该制备方法先以三氧化钼粉末溶液为原料进行喷雾造粒后，制得类球形三氧化钼粉末，再将类球形三氧化钼粉末装填入靶材模具中，依次经过液压压制、热压处理和加工处理后，制得三氧化钼溅射靶材，该三氧化钼溅射靶材的纯度大于99.95％，致密度大于99.5％。本发明的三氧化钼溅射靶材的制备方法，采用喷雾造粒和热压相结合的工艺，配合特制的靶材模具，最终制得的高纯度、高致密度的三氧化钼溅射靶材能够满足实际需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化钼 溅射 制备 方法 以及 模具 | ||
【主权项】：
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