[发明专利]一种长晶过程中监控固液界面温度系统及微控方法有效
| 申请号： | 202210382675.1 | 申请日： | 2022-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN114808122B | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 芮阳;马吟霜;刘洁;王忠保 | 申请（专利权）人： | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司;宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B11/00 |
| 代理公司： | 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 | 代理人： | 沈相权 |
| 地址： | 311201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种长晶过程中监控固液界面温度系统及微控方法，本发明涉及长晶温度监控技术领域。该长晶过程中监控固液界面温度系统及微控方法，通过温度检测组件的设置，当晶体凝结固液界面生成时，通过探测板以及探测板端部两侧下压板的配合，将对应的温度采集模块推动至固液界面，并将检测值通过温度信息接收模块以及信息传输模块输送至温度监控模块进行显示，且通过调节组件的设置，能够在固液界面生成的过程中对顶面多处位置进行温度、高度的测量监控，并将取得的平均温度值进行对比，提升了固液界面的检测精准度，提升了晶体凝结的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 过程 监控 界面 温度 系统 方法 | ||
【主权项】：
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