[发明专利]一种长晶过程中监控固液界面温度系统及微控方法

说明书

本发明公开了一种长晶过程中监控固液界面温度系统及微控方法，本发明涉及长晶温度监控技术领域。该长晶过程中监控固液界面温度系统及微控方法，通过温度检测组件的设置，当晶体凝结固液界面生成时，通过探测板以及探测板端部两侧下压板的配合，将对应的温度采集模块推动至固液界面，并将检测值通过温度信息接收模块以及信息传输模块输送至温度监控模块进行显示，且通过调节组件的设置，能够在固液界面生成的过程中对顶面多处位置进行温度、高度的测量监控，并将取得的平均温度值进行对比，提升了固液界面的检测精准度，提升了晶体凝结的效果。

技术领域

本发明涉及长晶温度监控技术领域，具体为一种长晶过程中监控固液界面温度系统及微控方法。

背景技术

硅是最常见应用最广的半导体材料，当熔融的单质硅凝固时，硅原子以金刚石晶格排列成晶核，其晶核长成晶面取向相同的晶粒，形成单晶硅，类单晶相较于单晶硅的制造成本低、且相较于多晶硅的转换效率高，在太阳能产业成为颇受瞩目的新材料；目前类单晶的转换效率与单晶硅的转换效率相比仍有一段落差，所以还无法取代单晶硅普遍使用。

当熔融后的溶液从下至上凝结出现固液界面时，由于固液界面非一个平面，导致其表面的具有温差、且难以对固液界面的温度进行监控，而由于温度值的偏差，导致固液界面的温度过高、过低或界面的温度具有差值时难以及时发现，影响晶体的成型质量。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种长晶过程中监控固液界面温度系统及微控方法，解决了监控准确性较低、影响晶体的成型质量的问题。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种长晶过程中监控固液界面温度系统，包括机体，所述机体的侧面转动安装有旋转门，所述机体的内侧下方固定安装有限位底座，所述限位底座的内部固定安装有坩埚，所述坩埚的顶面设置有温度检测组件，所述限位底座的内部固定安装有加热组件，所述温度检测组件包含有探测轴杆，所述探测轴杆的外侧滑动套接有限位轴套，所述限位轴套的侧面固定安装有定位杆、且通过两个定位杆固定安装有定位板，两个所述定位板的两侧均设置有定位栓、且通过定位栓固定安装在机体的内侧，所述机体的内侧顶面固定安装有气缸，所述气缸的一端设置有调节组件、且通过调节组件与探测轴杆的一端转动连接，所述探测轴杆的另一端对称开设有两个限位滑槽，两个所述限位滑槽的内部均滑动安装有探测板，两个所述探测板的端部与对应的限位滑槽的内壁之间均固定安装有弹簧体，两个所述探测板的另一端均固定安装有下压板。

优选的，所述温度检测组件还包含有温度采集模块，所述坩埚的内壁四周均对称开设有若干个限位槽，所述温度采集模块有若干个、且分别滑动安装在其内部，若干个所述温度采集模块的安装位置分别与探测板端部固定安装的下压板相互对应。

优选的，所述坩埚的顶面固定安装有衔接环，所述衔接环的内侧与若干个温度采集模块顶面之间均固定安装有复位弹簧，若干个所述复位弹簧分别位于对应的限位槽内部。

优选的，所述调节组件包含有调节轴套，所述调节轴套的端部固定套接在气缸的端部，所述调节轴套的另一端开设有环形槽、且通过环形槽转动安装有内轴套，所述内轴套的另一端与探测轴杆的端部固定连接。

优选的，所述调节组件还包含有驱动电机，所述驱动电机固定安装在机体的外侧，所述驱动电机的端部固定套接有传动轴套，所述传动轴套与内轴套之间转动连接有调节履带、且通过调节履带相互传动。

优选的，所述内轴套的端部固定安装有限位内环，所述内轴套通过限位内环与环形槽的配合与调节轴套转动连接。

优选的，所述探测轴杆滑动安装在外侧的限位轴套内部、且通过端部调节组件设置与限位轴套转动连接。

优选的，两个所述下压板与对应的探测板之间始终保持垂直，两个所述下压板之间相互对称。

优选的，所述加热组件包含有加热模块，所述加热模块有若干个，若干个所述加热模块分别对称安装在限位底座的内部。