[发明专利]悬浮式电容敏感芯片在审
| 申请号： | 202210374945.4 | 申请日： | 2022-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN116929415A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 姜贵民;杨宇新;杨超 | 申请（专利权）人： | 午芯（辽宁省）高科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/24 | 分类号： | G01D5/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110000 辽宁省沈阳市*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 悬浮式电容敏感芯片属于微机电系统（MEMS）技术领域，尤其涉及一种悬浮式电容敏感芯片。本发明提供一种悬浮式电容敏感芯片。本发明包括上极板（1）和下极板（2）,上极板（1）与下极板（2）之间为腔体（3），其特征在于腔体（3）内具有气体（4）和/或下极板（2）上设置有支撑（5）。 | ||
| 搜索关键词： | 悬浮 电容 敏感 芯片 | ||
【主权项】：
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