[发明专利]化学镀不同厚度的金属的方法、器件的封装方法有效

专利信息
申请号: 202210335623.9 申请日: 2022-04-01
公开(公告)号: CN114481100B 公开(公告)日: 2022-07-19
发明(设计)人: 眭小超 申请(专利权)人: 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
主分类号: C23C18/16 分类号: C23C18/16;C23C18/32;C23C18/42;H01L21/48
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 曹廷廷
地址: 312000 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供了一种化学镀不同厚度的金属的方法及器件的封装方法。在化学镀之前,使部分金属垫电连接N型掺杂区,以提高该部分金属垫在化学镀工艺中发生置换反应时的反应效率,从而可以在同一化学镀过程中,使得连接有N型掺杂区的金属垫上能够形成厚度更大的化学镀金属,满足其对化学镀金属的厚度需求,同时避免了其他金属垫上的化学镀金属的厚度过大而造成不必要的资料浪费,有效降低生产成本。
搜索关键词: 化学 不同 厚度 金属 方法 器件 封装
【主权项】:
暂无信息
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