[发明专利]基于晶格匹配的化合物掺杂Ge-Sb-Te相变材料和相变存储器在审
申请号: | 202210333560.3 | 申请日: | 2022-03-31 |
公开(公告)号: | CN114744110A | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 程晓敏;曾运韬;李凯;缪向水 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;C23C14/06;C23C14/30;C23C14/35;C23C16/30 |
代理公司: | 武汉华之喻知识产权代理有限公司 42267 | 代理人: | 王世芳;梁鹏 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: |
本发明提供了一种基于晶格匹配的化合物掺杂Ge‑Sb‑Te相变材料和相变存储器,属于微纳米电子技术领域,其化学式为(MA) |
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搜索关键词: | 基于 晶格 匹配 化合物 掺杂 ge sb te 相变 材料 存储器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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