[发明专利]一种适用于翘曲晶圆取放的机械手结构

摘要

本发明公开了一种适用于翘曲晶圆取放的机械手结构，包括机械手底板，所述机械手底板顶部的正面一端设置有副手臂，所述副手臂顶部的中间位置处设置有真空管路接头，所述副手臂顶部的背面一端设置有微型气缸，所述微型气缸的一侧设置有微型气缸用压缩空气管路接头。本发明通过机械手底板上设置有弧形的真空吸附仓上设置有多组真空吸附头，在第二弹簧的作用下，将真空吸附头进行顶出，使得真空吸附头伸缩长度可以灵活的改变，使得多组真空吸附头皆能够与翘曲严重的晶圆表面进行贴合，保证真空吸附头之间与翘曲严重的晶圆不存在漏气的情况发生，保证真空吸附的机械手底板真空稳定，牢固的吸附晶圆，防止晶圆的晃动造成的跌落。