[发明专利]一种晶圆的对准标记的确定方法和确定装置

摘要

本申请提供了一种晶圆的对准标记的确定方法和确定装置，其中，所述确定方法包括：获取目标晶圆上的每个对准标记单元上设置的对准标记的标记类型和标记质量；根据获取的每个对准标记的标记类型和标记质量进行组合，得到每个对准标记的类别标识；确定每个对准标记组合的类别组合标识；以运动台的移动路径最短为目标，确定运动台在每种类别标识下或每种类别组合标识下所对准的对准标记的对准顺序；按照确定的对准顺序，根据预先确定的配对数量，对对准标记进行配对，以得到目标晶圆的目标对准标记。通过所述确定方法和确定装置，能够选择出使晶圆工作台运动更小的距离的对准标记，从而提升了生产芯片的效率，降低了生产芯片所需的成本。