[发明专利]一种粗糙度的测量方法、测量装置及相关设备在审
| 申请号： | 202210327276.5 | 申请日： | 2022-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN116934651A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 徐宏;何向明;胡子昱 | 申请（专利权）人： | 清华大学;北京华睿新能动力科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/11;G06T7/13;G06T7/70;G06T5/00;G01B11/30 |
| 代理公司： | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人： | 王立娜;丁学爽 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请实施例提供了一种粗糙度的测量方法、测量装置及相关设备，其中方法包括：获取光刻图案的图像；基于所述光刻图案的图像，确定光刻图案的边缘位置数据；将所述边缘位置数据转换为实际位置数据，所述实际位置数据与所述光刻图案的实际尺寸相对应；根据所述实际位置数据，计算得到所述光刻图案的粗糙度。本申请实施例能够提高粗糙度的测量准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 粗糙 测量方法 测量 装置 相关 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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