[发明专利]铁电场效晶体管装置在审
| 申请号： | 202210322710.0 | 申请日： | 2022-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN114975617A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 林柏廷;廖崧甫;黄彦杰;陈海清;林佑明;林仲德 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 铁电场效晶体管装置，包括使用原子层沉积(ALD)沉积的铁电材料层。借由控制ALD沉积序列的参数，可以设计铁电层的晶体结构和铁电特性。包括相对较短前驱物脉冲持续时间和连续前驱物脉冲之间的清洗持续时间的ALD沉积序列可提供具有相对均匀晶粒尺寸和小平均晶粒尺寸的铁电层，这可以提供有效的铁电效能。包括相对较长前驱物脉冲持续时间和连续前驱物脉冲之间的清洗持续时间的ALD沉积序列可提供具有较不均匀晶粒尺寸和较大平均晶粒尺寸的铁电层。具有较大平均晶粒尺寸的铁电层可表现增强的结晶度和稳定的正交晶相，特别是在相对较薄的层中。 | ||
| 搜索关键词： | 电场 晶体管 装置 | ||
【主权项】：
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